FIB雙束掃描電鏡

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更新日期：2023-03-20
產品介紹：Helios 5 DualBeam FIB雙束掃描電鏡經過精心設計，可滿足材料科學研究人員和工程師對廣泛的 FIB-SEM 使用需求，即使是具挑戰性的樣品。
廠商性質：代理商

產品介紹

品牌	FEI/賽默飛	應用領域	電子/電池

Helios 5 DualBeam FIB雙束掃描電鏡經過精心設計，可滿足材料科學研究人員和工程師對廣泛的 FIB-SEM 使用需求，即使是具挑戰性的樣品。

Helios 5 DualBeam FIB雙束掃描電鏡重新定義了高分辨率成像的標準：高材料對比度，快、簡單、準確的高質量樣品制備，用于 S/TEM 成像和原子探針斷層掃描（APT）以及高質量的亞表面和 3D 表征。在 Helios DualBeam 系列久經考驗的性能基礎上，新一代的 Helios 5 DualBeam 進行了改進優化，所有這些都旨在確保系統處于手動或自動工作流程的運行狀態。

半導體行業技術參數：

		Helios 5 CX	Helios 5 HP	Helios 5 UX	Helios 5 HX	Helios 5 FX
		樣品制備與XHR掃描電鏡成像		終樣品制備(TEM薄片，APT)		STEM亞納米成像與樣品制備
SEM	著陸電壓	20ev-30kev		20ev-30kev
	分辨率	0.6nm@15kev 1.0nm@1kev		0.6nm@2kev 0.7nm@1kev 1.0nm@500ev
STEM	分辨率@30kev	0.7nm		0.6nm		0.3nm
FIB制備過程	大材料去除束流	65nA	100nA	65nA
	終拋光電壓	2kv		500v
TEM樣品制備	樣品厚度	50nm	15nm	7nm
	自動化	否	是	是
樣品處理	行程	110×110×65mm	110×110×65mm	150×150×10mm	100×100×20mm	100×100×20mm+5軸（S）TEMCompustage
	負載鎖	手動	自動	手動	自動	自動+自動插入/提取STEM桿

材料科學行業技術參數：

		Helios 5 CX	Helios 5 UX
離子光學		具有*的高電流性能的Tomahawk HT 離子鏡筒	具有*的大電流和低電壓性能的Phoenix離子鏡筒
	離子束電流范圍	1 pA – 100 nA	1 pA – 65 nA
	加速電圧	500 V – 30 kV	500 V – 30 kV
	大水平視場寬度	在光束重合點時為0.9 mm	在光束重合點時為0.7 mm
	離子源壽命	1,000 hours	1,000 hours
		兩級差動泵	兩級差動泵
		飛行時間矯正	飛行時間矯正
		15孔光闌	15孔光闌
電子光學		Elstar超高分辨率場發射鏡筒	Elstar超高分辨率場發射鏡筒
		磁浸沒物鏡	磁浸沒物鏡
		高穩定性肖特基場發射槍提供穩定的高分辨率分析電流	高穩定性肖特基場發射槍提供穩定的高分辨率分析電流
電子束分辨率	工作距離下	0.6 nm at 30 kV STEM	0.6 nm at 30 kV STEM
		0.6 nm at 15 kV	0.7 nm at 1 kV
		1.0 nm at 1 kV	1.0 nm at 500 V (ICD)
		0.9 nm at 1 kV 減速模式*
	在束流重合點	0.6 nm at 15 kV	0.6 nm at 15 kV
	在束流重合點	1.5 nm at 1 kV 減速模式* and DBS*	1.2 nm at 1 kV
電子束參數	電子束流范圍	0.8 pA to 176 nA	0.8 pA to 100 nA
	加速電壓范圍	200 V – 30 kV	350 V – 30 kV
	著陸電壓	20 eV – 30 keV	20 eV – 30 keV
	大水平視場寬度	2.3 mm at 4 mm WD	2.3 mm at 4 mm WD
探測器		Elstar 鏡筒內 SE/BSE 探測器 (TLD-SE, TLD-BSE)
		Elstar i鏡筒內SE/BSE 探測器 (ICD)*
		Elstar 鏡筒內 BSE 探測器 (MD)*
		樣品室內Everhart-Thornley SE 探測器 (ETD)
		紅外相機
		高性能離子轉換和電子探測器(SE)*
		樣品室內樣品導航彩色光學相機Nav-Cam Camera*
		可伸縮式低電壓、高襯度、分割式固態背散射探測器(DBS)*
		可伸縮STEM 3+ 探測器*
		電子束流測量
樣品臺和樣品	樣品臺	靈活五軸電動	壓電驅動XYR軸的高精度五軸電動工作臺
	XY	110 mm	150 mm
	Z	65 mm	10 mm
	R	360° (連續)	360° (連續)
	傾斜	-15° to +90°	-10° to +60°
	大樣品高度	與優中心點間隔85mm	與優中心點間隔55mm
	大樣品質量	樣品臺任意位置500 g	樣品臺任意位置500 g
	大樣品質量	0° 傾斜時大5kg	樣品臺任意位置500 g
	大樣品尺寸	直徑110 mm可沿樣品臺旋轉時	直徑150 mm可沿樣品臺旋轉時
		優中心旋轉和傾斜	優中心旋轉和傾斜

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