TG800F日本大阪真空OSAKA半導體生產用任何方向類型渦輪分子泵北崎熱賣

更新時間：2025-11-08

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任何方向類型 TG-F 系列

使用油脂潤滑球軸承，用于小型、輕便和低成本的泵。抗沖擊設計使渦輪分子泵能夠安裝在移動設備或運動部件上。產品陣容提供從 50 L/s 到 2400 L/s 的型號。

潤滑脂潤滑球軸承型渦輪分子泵的橫截面

ターボ分子ポンプ斷面図（グリス潤滑玉軸受形

產品陣容

TG800F

■ 任何方向

■ 緊湊的尺寸

■ 節能

■ 快速啟動

■ 帶排氣口快速關閉

■ 用于涌入空氣的耐用結構

■ 串行通信
※RS232C 串行接口

■ 通過安全標準NRTL/SEMI-S2/CE

應用

■ 半導體生產

■ 電子槍排氣、電離源排氣

■ FPD制造

■ 表面處理、表面改性

■ 各種電子元件的制造

■ 分析、檢測設備

■ 燈具生產、光學元件生產

■ 加速裝置、輻射設施、核聚變研究

■ 熱處理

■ 研究與開發

*如果排出腐蝕性氣體，請選擇我們的化學用TG-M或TG系列。

*1 ：使用500L/min的前級真空泵時。

*2 ：因電源型號而異。（標準：TC1104）

*3 ：如果風冷，則必須更換風冷風扇。（TG800F***-60）

[使用環境溫度]

確保達到極限壓力的環境溫度范圍為 10-23°C。風冷型允許環境溫度為10-32°C，水冷型允許環境溫度為10-40°C。保證極限壓力的冷卻水最高溫度為30°C，冷卻水允許溫度范圍為10-35°C。

[對應氣體]

一些使用氣體會使潤滑脂和內部零件變質。請聯系 Osaka Vacuum 獲取適用氣體類型的列表。