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      技術文章/ TECHNICAL ARTICLES
      
            
      
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      日本ULVAC愛發科螺桿型干泵MS1200A北崎熱賣
      
            
      更新時間：2025-08-19      瀏覽次數：191
      
            
      
            	
      螺桿型干泵Model:MS
      特點

      • 通過對轉子軸和氣缸等主要部件進行特殊涂層處理，以防腐蝕。
      • 采用ULVAC設計的轉子軸，實現高性能的排粉。
      • 從大氣壓到極限壓力，可以在全壓力區域連續運行。
      用途


      • 半導體和電子器件制造設備相關的真空排氣系統，如刻蝕設備、去膠設備、等離子清洗設備等。
      • 真空熱處理爐真空排氣系統，如燒結爐、滲碳爐等。
      • 鋰電池制造設備真空排氣系統，如電極干燥設備、脫泡設備、注液設備等。
      • 醫療食品設備相關的真空排氣系統，如冷凍干燥設備、真空干燥設備等。

      規格

      型式MS120AMS600AMS1200A
      最大排氣速度 *1m3/h115560980
      到達壓力Pa≦0.6≦0.1
      電源電壓200V Class：3Phase, 50/60Hz, AC200-240V±10% or 400V Class：3Phase, 50/60Hz, AC380-480V±10%
      消費電力概略值 *2kW2.43.13.1
      冷卻水量L/min>4.0
      Purge gas量 *1SLM0~50
      最大水蒸氣處理量 *1*3kg/h1.5
      噪音值　*1dB(A)616264
      吸氣口KF50(Horizontal) / VG50(Vertical)ISO-F-80ISO-F-100
      排氣口KF40
      質量 *4kg139241264
      適用規格CE、cTUVus
      標準附屬品Quick manual, Power connector, Waterproof cable clamp, Remote connector, Guard for power connector, Silencer
      本體選配件Power supply：200V Class or 400V Class
      Material of seal：FKM or FFKM
      外部選配件Packege Exhaust port, Earthquake-proof Bracket, LR compatible Unit(Inlet, Remote), Purge gas valve
      *1：到達壓力時
      *2：At ultimate pressure (reference only)
      *3：Purge gas使用時的最大水蒸氣處理量
      *4：Including a silencer

      排氣速度曲線
      • MS120A
        ms120a_curve.png
      • MA600A
        ms600a_curve.png
      • MS1200A
        ms1200a_curve.png






      
            
      
            
		
      
            
    
      
    
      

      




      
    
      
        
        
      
        	
            
            
      
            	
      電話：TEL
      
                86-010-67868591
                
      地址：ADDRESS
      
                朝陽區住邦2000商務樓A座1號樓406B
            
      
            
      
                
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