環(huán)境真空掃描電鏡是一種結(jié)合掃描電子顯微鏡與環(huán)境控制技術(shù)的高分辨率顯微技術(shù)，能夠在較寬的環(huán)境條件下進(jìn)行樣品的觀(guān)察和分析，特別適用于在傳統(tǒng)掃描電子顯微鏡無(wú)法有效操作的樣品，如水分較多、有氣體揮發(fā)或是需要特定氣氛的樣品。
一、工作原理
環(huán)境真空掃描電鏡的核心原理與傳統(tǒng)SEM類(lèi)似，都是通過(guò)掃描電子束與樣品表面相互作用產(chǎn)生信號(hào)，并通過(guò)這些信號(hào)獲取圖像。然而，最大的特點(diǎn)是在掃描過(guò)程中，樣品并不需要像傳統(tǒng)SEM一樣在高真空條件下操作，而是可以在一定的氣壓范圍內(nèi)進(jìn)行分析。為了實(shí)現(xiàn)這一點(diǎn)，它采用了一個(gè)具有特殊設(shè)計(jì)的環(huán)境控制系統(tǒng)，包括一個(gè)真空室和一個(gè)氣體注入系統(tǒng)。
1、電子束與樣品的相互作用：電子槍發(fā)射的電子束掃描樣品表面。當(dāng)電子束與樣品相互作用時(shí)，會(huì)產(chǎn)生一系列的信號(hào)，包括二次電子、反射電子、特征X射線(xiàn)等。這些信號(hào)經(jīng)過(guò)收集后用于生成圖像和分析樣品成分。
2、環(huán)境控制：優(yōu)勢(shì)在于它能夠在一定的壓力環(huán)境下工作。為了使電子束能夠有效穿透空氣并與樣品相互作用，樣品需要處于高真空環(huán)境。通過(guò)在樣品周?chē)肟烧{(diào)的低壓氣體環(huán)境，電子束仍然能夠有效與樣品相互作用，這使得樣品在不需要過(guò)度處理的情況下，就能在顯微鏡中進(jìn)行觀(guān)察。
3、水蒸氣的影響：水蒸氣等氣體的存在不會(huì)干擾圖像的獲取。由于低壓環(huán)境的特性，水蒸氣在這種情況下不會(huì)凝結(jié)成液滴或干擾電子束的路徑，確保了高分辨率圖像的獲取。
4、數(shù)據(jù)采集：通過(guò)在適當(dāng)?shù)臍鈮汉蜐穸葪l件下操作，能夠收集樣品在不同環(huán)境條件下的圖像，進(jìn)而獲得更多的樣品信息，如形態(tài)、表面結(jié)構(gòu)、分布等。
二、技術(shù)優(yōu)勢(shì)
1、無(wú)樣品處理：環(huán)境真空掃描電鏡的優(yōu)勢(shì)之一是能夠直接在自然狀態(tài)下觀(guān)察樣品，無(wú)需進(jìn)行高真空處理或樣品表面涂層。這對(duì)于那些容易受損或改變形態(tài)的樣品，尤其是生物樣品或濕潤(rùn)的材料，極為重要。
2、廣泛的應(yīng)用范圍：別適合用于觀(guān)察那些傳統(tǒng)SEM無(wú)法處理的濕潤(rùn)樣品、氣體反應(yīng)中的材料、合成過(guò)程中的化學(xué)反應(yīng)等。此外，還可以用于觀(guān)察樣品在特定環(huán)境下的變化，比如溫度、濕度、壓力等條件對(duì)樣品表面或結(jié)構(gòu)的影響。
3、實(shí)時(shí)動(dòng)態(tài)觀(guān)測(cè)：由于它能夠在不同環(huán)境下操作，因此它不僅適用于靜態(tài)樣品的觀(guān)察，還能進(jìn)行動(dòng)態(tài)實(shí)時(shí)觀(guān)察。例如，可用于研究液體中的納米顆粒、氣體反應(yīng)過(guò)程、濕度變化下的材料膨脹等現(xiàn)象。
隨著環(huán)境控制技術(shù)和電子顯微鏡技術(shù)的進(jìn)一步發(fā)展，環(huán)境真空掃描電鏡的分辨率、穩(wěn)定性和多功能性將進(jìn)一步提高，更多領(lǐng)域的應(yīng)用將得到拓展，尤其是在生物醫(yī)學(xué)、納米技術(shù)以及材料科學(xué)等領(lǐng)域，將發(fā)揮更加重要的作用。
