SEM掃描電鏡利用電子束對(duì)樣品進(jìn)行納米級(jí)分辨率的圖像分析。燈絲釋放出電子，形成平行的電子束。然后，電子束通過(guò)透鏡聚焦于樣品表面。可應(yīng)用于微觀形貌、顆粒尺寸、微區(qū)組成、元素分布、元素價(jià)態(tài)和化學(xué)鍵、晶體結(jié)構(gòu)、相組成、結(jié)構(gòu)缺陷、晶界結(jié)構(gòu)和組成等。
SEM掃描電鏡通過(guò)光柵掃描技術(shù)來(lái)產(chǎn)生標(biāo)本的放大圖像。它引導(dǎo)聚焦的電子束穿過(guò)樣品的矩形區(qū)域，當(dāng)電子束通過(guò)時(shí)會(huì)產(chǎn)生能量損失。該能量會(huì)被轉(zhuǎn)換成熱、光、二次電子等能量同時(shí)反向散射電子。此時(shí)通過(guò)軟件系統(tǒng)進(jìn)行翻譯轉(zhuǎn)換后得到清晰的標(biāo)本圖像信息。從成像原理分析，掃描電子顯微鏡的分辨率會(huì)比透射電子顯微鏡的分辨率稍差。但它的優(yōu)勢(shì)在于可以利用表面處理，創(chuàng)建大樣本的圖像，尺寸可達(dá)幾厘米，并且具有較大的景深。
SEM掃描電鏡的優(yōu)點(diǎn)：
1、有較高的放大倍數(shù)，20-20萬(wàn)倍之間連續(xù)可調(diào)；
2、有很大的景深，視野大，成像富有立體感，可直接觀察各種試樣凹凸不平表面的細(xì)微結(jié)構(gòu)；
3、試樣制備簡(jiǎn)單。
