FIB雙束掃描電鏡具有高性能成像和分析性能。它經(jīng)過精心設(shè)計，以滿足材料科學(xué)研究人員和工程師使用FIB-SEM的需求。它重新定義了高分辨率成像的標(biāo)準(zhǔn)，引入了一種新的精細(xì)圖像調(diào)節(jié)功能FLASH(閃爍)技術(shù)。
FIB雙束掃描電鏡只需在用戶界面中操作鼠標(biāo)即可“實時”執(zhí)行散光、鏡頭對中和圖像對焦。自動調(diào)整可以顯著提高通量、數(shù)據(jù)質(zhì)量并簡化高質(zhì)量圖像的獲取。所有人員操作都非常方便，只有經(jīng)過短期培訓(xùn)才能使用。
FIB雙束掃描電鏡的工作原理：
雙束聚焦離子束系統(tǒng)可以簡單地理解為單束聚焦離子光束系統(tǒng)和普通掃描電鏡的耦合。常見的雙束設(shè)備是電子束的垂直安裝。離子束和電子束以一定角度安裝。電子束和離子束焦平面的交點通常稱為同心高度位置。當(dāng)樣品在使用過程中處于同心高度的位置時，可以同時實現(xiàn)電子束成像和離子束處理，通過樣品臺的傾斜可以使樣品表面垂直于電子束或離子束。
雙束系統(tǒng)還可以配備不同的輔助設(shè)備以實現(xiàn)特定目的，例如特定的氣體注入系統(tǒng)(GIS)，它可以通過化學(xué)氣體反應(yīng)與物理濺射相結(jié)合，選擇性地去除某些材料或沉積材料(導(dǎo)電或絕緣)；能譜或電子背散射衍射系統(tǒng)可以表征和分析材料成分、結(jié)構(gòu)、取向等；納米機(jī)械手可以在微米和納米尺度上控制研究對象；各種可控樣品臺架，如溫度控制、通電、加力等，可實現(xiàn)多場耦合條件下的現(xiàn)場分析和測試。
