場發(fā)射電鏡是電子顯微鏡的一種，其原理是利用二次電子或背散射電子成像，對樣品表面放大一定的倍數(shù)進行形貌觀察，同時利用電子激發(fā)出樣品表面的特征X射線來對微區(qū)的成分進行定性定量分析，可對試樣進行表面形貌觀察分析，已廣泛應(yīng)用于材料科學(xué)、冶金、電子、半導(dǎo)體、食品、生命科學(xué)等科研和工程領(lǐng)域。
場發(fā)射電鏡的結(jié)構(gòu)組成：
(1)電子源：也稱電子槍，產(chǎn)生連續(xù)不斷的穩(wěn)定的電子流。普通掃描電鏡的電子槍由陰極(燈絲)、柵極和陽極組成。陰極采用能加熱的鎢絲，柵極圍在陰極周圍。被加熱了的鎢絲釋放出電子，并在陽極和陰極之間施加高壓，形成加速電場，從而使電子得到能量——高速飛向。而場發(fā)射電子槍與普通鎢絲電子槍有所不同，陰極呈桿狀，在它的一端有個極鋒利的尖點，由加速電壓加速產(chǎn)生高速電子流飛向樣品
(2)電子透鏡：將從電子槍發(fā)射出來的電子會聚成直徑最小為1——5nm電子束。
(3)掃描系統(tǒng)：使電子束作光柵掃描運動。
場發(fā)射電鏡的應(yīng)用范圍：
1、金屬、陶瓷、高分子、礦物、半導(dǎo)體、紙張、化工產(chǎn)品的顯微形貌觀察及材料的晶體結(jié)構(gòu)、相組織分析；
2、各種材料微區(qū)化學(xué)成分的定性定量檢測；
3、粉末、微粒、納米樣品形態(tài)觀察和粒度測定；
4、機械零件與工業(yè)產(chǎn)品的失效分析；
5、鍍層厚度、成分與質(zhì)量測定；
6、生物、醫(yī)學(xué)和農(nóng)業(yè)等領(lǐng)域。
