掃描電鏡顯微鏡是自上世紀60年代作為商用電鏡面世以來迅速發(fā)展起來的一種新型的電子光學儀器，被廣泛地應用于化學、生物、醫(yī)學、冶金、材料、半導體制造、微電路檢查等各個研究領域和工業(yè)部門。如圖1所示，是掃描電子顯微鏡的外觀圖。
掃描電鏡顯微鏡對掃描樣本的要求，主要包括以下幾個方面：
1、形貌形態(tài)，必須耐高真空
例如有些含水量很大的細胞，在真空中很快被抽干水分，細胞的形態(tài)也發(fā)生了改變，無法對各類型細胞進行區(qū)分。
2、樣品表面不能含有有機油脂類污染物
油污在電子束作用下容易分解成碳氫化物，對真空環(huán)境造成極大污染。樣品表面細節(jié)被碳氫化合物遮蓋；碳氫化合物降低了成像信號產量；碳氫化合物吸附在電子束光路引起極大象散；碳氫化合物被吸附在探測器晶體表面，降低探測器效率。對低加速電壓的電子束干擾嚴重。
3、樣品必須為干燥
水蒸氣會加速電子槍陰極材料的揮發(fā)，從而極大降低燈絲壽命；水蒸氣會散射電子束，增加電子束能量分散，從而增大色差，降低分辨能力。
4、樣品表面必需導電
在大多數(shù)情況下，初級電子束電荷數(shù)量都大于背散射電子和二次電子數(shù)量之和，因此多余的電子必須導入地下，即樣品表面電位必須保持在0電位。如果樣品表面不導電，或者樣品接地線斷裂，那么樣品表面靜電荷存在，使得表面負電勢不斷增加，出現(xiàn)充電效應，使圖像畸變，入射電子束減速，此時樣品如同一個電子平面鏡。
