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      技術文章

      掃描電子顯微鏡對待觀察樣品有哪些要求?

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      掃描電子顯微鏡的優勢為可以直接觀察非常粗糙的樣品表面,參差起伏的材料原始斷口。但其劣勢為樣品必須在真空環境下觀察,因此對樣品有一些特殊要求,總的來說:干燥,無油,導電。  

      1、形貌形態,必須耐高真空。  

      例如有些含水量很大的細胞,在真空中很快被抽干水分,細胞的形態也發生了改變,無法對各類型細胞進行區分;  
       

      2、樣品表面不能含有有機油脂類污染物。  

      油污在電子束作用下容易分解成碳氫化物,對真空環境造成極大污染。樣品表面細節被碳氫化合物遮蓋;碳氫化合物降低了成像信號產量;碳氫化合物吸附在電子束光路引起極大象散;碳氫化合物被吸附在探測器晶體表面,降低探測器效率。對低加速電壓的電子束干擾嚴重。  
       

      3、樣品必須為干燥。  

      水蒸氣會加速電子槍陰極材料的揮發,從而極大降低燈絲壽命;水蒸氣會散射電子束,增加電子束能量分散,從而增大色差,降低分辨能力。  
       

      4、樣品表面必需導電。  

      在大多數情況下,初級電子束電荷數量都大于背散射電子和二次電子數量之和,因此多余的電子必須導入地下,即樣品表面電位必須保持在0電位。如果樣品表面不導電,或者樣品接地線斷裂,那么樣品表面靜電荷存在,使得表面負電勢不斷增加,出現充電效應,使圖像畸變,入射電子束減速,此時樣品如同一個電子平面鏡。  
       

      5、在某些情況下,樣品制備變成重要的考慮因素。  

      若要檢測觀察弱反差機理,就必須消除強反差機理(例如,形貌反差),否則很難檢測到弱的反差。當希望EBSD背散射電子衍射反差,I和II型磁反差或其他弱反差機理時,磁性材料的磁疇特性必需消除樣品的形貌。采用化學拋光,電解拋光等,產生一個幾乎消除形貌的鏡面。 特殊情況:磁性材料,必須退磁。

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